Chessboard Calibration Standard for SEM Imaging

Der Schachbrett-Kalibrierstandard: Präzision für die REM-Bildgebung Der Schachbrett-Kalibrierstandard ist ein hochpräzises Instrument für die Vergrößerungs- und Bildkalibrierung von Rasterelektronenmikroskopen (REMs) und Kompakt-REMs.

Seine einzigartige Struktur besteht aus über 1,6 Millionen Quadraten, die ein vierstufiges Schachbrettmuster bilden: 

1. Kleinste Einheit: 1 x 1µm Quadrate
2. 10 x 10µm Schachbretter
3. 100 x 100µm Schachbretter
4. 1 x 1mm Schachbretter
5. Gesamtmuster: 5 x 5mm

Jedes Schachbrett befindet sich innerhalb eines Feldes eines größeren Schachbretts, das wiederum in einem noch größeren Schachbrett liegt und dieses wiederum nur ein Teil eines weiteren Schachbretts ist. Es gibt vier Ebenen an Schachbrettmustern bis zur kleinsten Quadratstruktur 
von 1 x 1µm.

Hergestellt wird der Standard durch Auftragen von 60nm dickem Chrom auf ein ultraflaches, leitfähiges, mit Bor dotiertes <100> Siliziumsubstrat. Diese Materialwahl gewährleistet Inertheit unter normalen Arbeitsbedingungen und bietet exzellenten Kontrast sowohl bei SE- als auch bei BSE-Abbildungen. 

Technische Spezifikationen: 

• Kalibrierungsbereich: 20x bis 50.000x Vergrößerung
• Abstandgenauigkeit: ± 0,1% in X- und Y-Richtung
• Gesamtgröße: 6 x 6mm bei 675µm Dicke
• Substratwiderstand: 5-10Ohm-cm

Der Standard ist NIST-rückverfolgbar und wird mit einem entsprechenden Zertifikat geliefert. Er eignet sich hervorragend zur Überprüfung von Bildverzerrungen und der Genauigkeit von (motorisierten) REM-Tischen. Erhältlich ist der Schachbrett-Kalibrierstandard sowohl unmontiert als auch auf gängigen SEM-Probenhaltern montiert, was ihn zu einem vielseitigen Werkzeug für verschiedene REM-Systeme macht. Zusammenfassend bietet der Schachbrett-Kalibrierstandard eine schnelle, einfache und äußerst präzise Methode zur Kalibrierung und Bildkontrolle in der Rasterelektronenmikroskopie, unterstützt durch seine langlebige Konstruktion und praktisch inerte Materialien.